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Mise au point d’une nouvelle méthode de mesure de spectrophotométrie infrarouge en environnement contrôlé


Publié le 18 décembre 2012

​Le CEA-Leti et le CNRS-LTM ont mis en place un module de mesure FTIR (Fourier transform infrared spectroscopy) en environnement contrôlé. Ce module permet de mesurer un échantillon immergé dans une atmosphère gazeuse dont on peut modifier la nature et la pression. Cette technique est particulièrement adaptée à la caractérisation des matériaux poreux déposés en couche mince sur silicium. Le CEA-Leti et le CNRS-LTM prévoient une extension des possibilités de cette méthode par l’utilisation d’autres solvants et la possibilité de chauffer l’échantillon.

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