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Nanomembranes de silicium pour sondes ultrasoniques haute résolution


Publié le 29 novembre 2012

​Le CEA-Leti a pu déterminer les caractéristiques mécaniques de membranes de silicium d’épaisseur nanométrique. Il a démontré qu’à cette échelle il est possible d’avoir une structure rigide, résistante susceptible de vibrer.

La réalisation de ces structures utilise les procédés standards de la microélectronique et ouvre de nouvelle perspective pour la réalisation de sondes ultrasoniques miniaturisées qui répondent entre autres aux besoins d’analyse des tissus en biologie et dans le domaine de la santé. La prochaine étape est la fabrication de transducteurs opérationnels.

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